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- 產(chǎn)品名稱(chēng)：手動(dòng)晶圓烘焙熱板系統(tǒng)
- 產(chǎn)品型號(hào)：YYHTp20型熱板
- 產(chǎn)品展商：燕園科技
- 產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
YYHTp型熱板是一款手動(dòng)桌面型烘焙系統(tǒng)，采用手動(dòng)PID控制器和定時(shí)器開(kāi)關(guān)可確保高的溫度控制精度。用于晶圓的單面烘烤，可用于預(yù)烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底膠涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake堅(jiān)膜)工藝。
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特色：
÷ 加熱板模塊（極限可達(dá) 300°C）
÷ 氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)支撐pin升降
÷ 支撐pin材料：不銹鋼，頂部采用 PEEK （極限250°C）
÷ 熱板通過(guò)真空固定晶圓
÷ 集成排煙裝置
÷ 熱板蓋手動(dòng)控制
÷ 集成1x PID 控制器，用于在高測(cè)量時(shí)進(jìn)行溫度控制
÷ 集成1x 定時(shí)器開(kāi)關(guān)
技術(shù)數(shù)據(jù)：
÷ 襯底尺寸: 極限可達(dá) ?200 mm (? 8”) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)
÷ 溫度區(qū)間: 極限可達(dá) 300°C*, 以 1°C 步進(jìn)可調(diào)
÷ 溫度精度: 100°C 時(shí) < ±1°C
÷ 提升銷(xiāo)（一套）: ?50 mm (?2”) 至大可達(dá) ?200 mm(?8”) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)
÷ 熱板表面: 由硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁制成
÷ 加熱板蓋: 由微拋光不銹鋼制成
÷ 控制器單元: 1x PID控制器, 1x 時(shí)間開(kāi)關(guān)
÷ Pin頂部 采用PEEK 材料，極限溫度 250°C
可選項(xiàng)：
÷ 支撐pin材料
÷ 邊緣支撐pin
÷ N2吹掃
÷ HMDS 熱板系統(tǒng)（六甲基二硅胺底膠蒸汽涂覆）
÷ 烘焙距離可調(diào)模組
÷ 真空泵