- 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
- 產(chǎn)品名稱：半自動烘焙系統(tǒng)
- 產(chǎn)品型號：YYHTe20型熱板
- 產(chǎn)品展商：燕園科技
- 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
YYHTe20型熱板是一款桌面型半自動烘焙系統(tǒng)，用于晶圓的單面烘烤，可用于預(yù)烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底膠涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake堅(jiān)膜)工藝。?
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特色：
÷ 溫度高達(dá) 300°C
÷ 電子驅(qū)動升降pin
÷ 支撐pin材料為不銹鋼，頂部采用 PEEK 材料 (極限250°C)
÷ 程序控制支撐pin的升降（不同停止的速度和步數(shù)）
÷ 熱板通過真空固定晶圓
÷ 熱板蓋手動控制
÷ 集成排煙裝置
÷ 通過設(shè)置receip自動進(jìn)行加熱處理
主要技術(shù)數(shù)據(jù)：
÷ 襯底尺寸: 極限可達(dá) ?200 mm (? 8”) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)
÷ 溫度: 極限可達(dá) 300°C, 步進(jìn)1°C
÷ 溫度精度: < ±1°C@100°C
÷ 支撐pin: ?50 mm (?2”), 至大可達(dá) ?200 mm(?8”) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)
÷ 熱板材質(zhì): 硬質(zhì)陽極氧化鋁
÷ 加熱蓋材質(zhì): 不銹鋼
選配：
÷ 支撐pin材料
÷ 邊緣支撐pin
÷ N2吹掃
÷ HMDS 熱板系統(tǒng)（六甲基二硅胺底膠蒸汽涂覆）
÷ 600℃熱板
÷ 真空泵